用(yong)途：該儀器(qi)可(ke)適用(yong)不同種(zhong)類器(qi)件的輻(fu)照，適用(yong)於(yu)器(qi)件輻(fu)射(she)效應提參(can)建模(mo)的試(shi)驗(yan)平(ping)臺(tai)，在器(qi)件設計、流片(pian)階段給出加(jia)固建議(yi)，評估抗輻(fu)射(she)性能(neng)。為(wei)晶(jing)片(pian)級(ji)器(qi)件輻(fu)照、提參(can)提供試(shi)驗(yan)條(tiao)件，形(xing)成面向(xiang)抗輻(fu)射(she)器(qi)件研制全過(guo)程(cheng)的(de)輻(fu)射(she)效應試(shi)驗(yan)評(ping)估、提參(can)建模(mo)共性技術(shu)服(fu)務(wu)平(ping)臺，為(wei)元(yuan)器(qi)件設計加(jia)固工藝的(de)發(fa)展提(ti)供試(shi)驗(yan)技術(shu)支撐(cheng)。

晶(jing)片(pian)級(ji)器(qi)件、芯片(pian)X射線輻(fu)照儀

用(yong)途：該儀器(qi)可(ke)適用(yong)不同種(zhong)類器(qi)件的輻(fu)照，適用(yong)於(yu)器(qi)件輻(fu)射(she)效應提參(can)建模(mo)的試(shi)驗(yan)平(ping)臺(tai)，在器(qi)件設計、流片(pian)階段給出加(jia)固建議(yi)，評估抗輻(fu)射(she)性能(neng)。為(wei)晶(jing)片(pian)級(ji)器(qi)件輻(fu)照、提參(can)提供試(shi)驗(yan)條(tiao)件，形(xing)成面向(xiang)抗輻(fu)射(she)器(qi)件研制全過(guo)程(cheng)的(de)輻(fu)射(she)效應試(shi)驗(yan)評(ping)估、提參(can)建模(mo)共性技術(shu)服(fu)務(wu)平(ping)臺，為(wei)元(yuan)器(qi)件設計加(jia)固工藝的(de)發(fa)展提(ti)供試(shi)驗(yan)技術(shu)支撐(cheng)。

  系統(tong)參(can)數

1. X射線球管最高電壓(ya)：160kV

2. 線束角度(du): 40°

3. 系統(tong)最(zui)大功(gong)率(lv)：6000W

4. X射線球管焦(jiao)點(dian)尺(chi)寸(cun)：5.5 mm

5. 可(ke)調整(zheng)照射距離(SSD)：OEM，以(yi)最終設計為(wei)準(zhun)

6. 劑量控制：配(pei)置(zhi)實(shi)時劑量監控儀(yi)，劑量率(lv)、累積劑量，輻(fu)照時間(jian)實(shi)時顯(xian)現(xian)。劑量率(lv)檢測(ce)範圍最大＞600gy/min。

7. 冷(leng)卻(que)器(qi)：集成的(de)閉合(he)回(hui)路(lu)熱(re)交換器(qi)

8. 載(zai)物(wu)臺(tai)：電動(dong)操作(zuo)

9. 控制：PLC控制

10. 儀器(qi)具備(bei)門機連(lian)鎖和(he)警(jing)示(shi)燈，確保(bao)使用安(an)全性。

11. 同(tong)軸槽型(xing)常高溫吸(xi)附卡(ka)盤(pan)（OEM）

12. 卡(ka)盤(pan)XY位移平臺，Z軸快速升(sheng)降，帶(dai)微調升降，卡(ka)盤(pan)可(ke)旋轉±45°

13. PSM1000顯微鏡、HDMI接口(kou)高清（200萬像素(su)）CCD（可(ke)選(xuan)配(pei)其他(ta)）

14. 顯微鏡XY位移平臺2＂*2＂

15. 防(fang)震(zhen)桌(zhuo)900mm*800mm（最(zui)終尺寸(cun)以(yi)實(shi)際(ji)為準(zhun)）

16. 三(san)軸接口(kou)探針(zhen)座(zuo)

17. 空氣(qi)壓(ya)縮機

18. 可(ke)選(xuan)配(pei)高低溫同軸(zhou)卡(ka)盤(pan)、半(ban)自動(dong)探針(zhen)臺(tai)、幹燥(zao)空氣(qi)系(xi)統(tong)等。