微(wei)焦點X射線檢(jian)測是(shi)集(ji)現(xian)代計算(suan)機(ji)軟件(jian)技術、精密機械(xie)制(zhi)造(zao)技術、光(guang)學(xue)技術、電(dian)子技術、傳(chuan)感器技術、無損(sun)檢(jian)測技術和(he)圖(tu)像處理(li)技術於(yu)壹體的(de)高(gao)科技產品。它是(shi)進行(xing)產品研(yan)究、失(shi)效分(fen)析、高可靠(kao)篩(shai)選(xuan)、質(zhi)量評價、工(gong)藝(yi)改(gai)進等(deng)工(gong)作(zuo)的有效(xiao)手段(duan)。
微(wei)焦點X射線檢(jian)測是(shi)焦點尺寸(cun)可以(yi)達(da)到幾(ji)個微(wei)米,並(bing)且能(neng)夠(gou)在(zai)0~225kV或(huo)更高(gao)恒電(dian)壓(ya)模(mo)式下,以(yi)壹(yi)定的(de)功率(通常zui高(gao)為(wei)320W)連續工(gong)作(zuo)的X射線機(ji)。微(wei)焦點X射線機(ji)的焦點尺寸(cun)通常可以(yi)連(lian)續可調(tiao),從(cong)幾微(wei)米直到0.2毫米或更(geng)高(gao)。
與(yu)常規(gui)X射(she)線管(guan)相(xiang)同,微(wei)焦點X射線管(guan)的(de)陽(yang)極(ji)也(ye)是(shi)用循環油或(huo)水(shui)來冷(leng)卻。與(yu)常規(gui)X射(she)線機(ji)不(bu)同的(de)是(shi),用於(yu)無損(sun)檢(jian)測的(de)微(wei)焦點X射線管(guan)是(shi)用真空(kong)泵(beng)來維持X射線管(guan)內(nei)的真空(kong)度(約為10-7)。微(wei)焦點X射線管(guan)可以(yi)很(hen)方(fang)便的(de)打(da)開(kai)(即(ji)開放(fang)式或稱(cheng)為(wei)開(kai)管(guan)),用來更(geng)換(huan)不(bu)同的(de)靶材(cai)以(yi)產生(sheng)不(bu)同的(de)X射線頻(pin)譜;更(geng)換不(bu)同形(xing)狀(zhuang)及(ji)大(da)小(xiao)的(de)X射線窗(chuang)口;以(yi)及(ji)更(geng)換陽(yang)極(ji)的類型(xing)…如換(huan)上各種直徑(jing)和(he)長(chang)度的棒陽(yang)極(ji),以(yi)滿(man)足不(bu)同檢(jian)測任(ren)務(wu)的需要。這(zhe)些(xie)陽(yang)極(ji)棒的(de)長度(du)可達(da)1500毫米,直徑(jing)可從(cong)18毫(hao)米壹直小(xiao)到(dao)4毫米。使(shi)用如此小(xiao)的(de)棒陽(yang)極(ji),我(wo)們(men)可以(yi)用單壁內(nei)透(tou)照(zhao)方(fang)式,以(yi)的(de)缺陷檢(jian)測靈(ling)敏(min)度進行(xing)射線檢(jian)測。
需要考(kao)慮(lv)的(de)是(shi)X射線束(shu)視場(chang)直徑(jing)或稱(cheng)錐(zhui)束(shu)角。進行(xing)微(wei)焦點X射線檢(jian)測,當焦距很(hen)近時(shi),錐束(shu)角或視場(chang)範(fan)圍(wei)非(fei)常重要。例(li)如,25°錐(zhui)角的微(wei)焦點X射線機(ji)的曝光(guang)次(ci)數(shu)要(yao)小(xiao)於(yu)15°錐角的微(wei)焦點X射線機(ji)在(zai)檢(jian)測相(xiang)同範(fan)圍(wei)時(shi)的曝光(guang)次(ci)數(shu)。
另(ling)壹個需要考(kao)慮(lv)的(de)是(shi)焦點到X射線管(guan)窗(chuang)口外(wai)表(biao)面(mian)的(de)距(ju)離(li),它決定了(le)被(bei)檢(jian)樣(yang)品到焦點的zui小(xiao)距(ju)離(li)。這壹(yi)參(can)數(shu)的重要性(xing)在(zai)於(yu)它決定了(le)壹個微(wei)焦點系統(tong)可能(neng)達(da)到的(de)zui大(da)放大(da)倍數(shu)。由於(yu)防(fang)護設施(shi)空(kong)間(jian)的(de)局(ju)限(xian)以(yi)及(ji)射(she)線的(de)衰減與(yu)距離(li)的平方(fang)成反(fan)比(I/R2),我(wo)們(men)無(wu)法(fa)隨意(yi)拉長(chang)膠(jiao)片或(huo)探測器到(dao)射線源(yuan)的距(ju)離(li)以(yi)增(zeng)大(da)放大(da)倍數(shu)。
在(zai)進行(xing)微(wei)焦點X射線檢(jian)測時(shi)有壹個與(yu)常規(gui)X射(she)線檢(jian)測很(hen)大(da)的不(bu)同:我(wo)們(men)通常不(bu)需要考(kao)慮(lv)圖(tu)像半(ban)影(ying)的大(da)小(xiao),即(ji)通常不(bu)考(kao)慮(lv)幾(ji)何(he)不(bu)清(qing)晰度的影(ying)響。原(yuan)因是(shi)當焦點尺寸(cun)足(zu)夠(gou)小(xiao)時(shi),半影(ying)可以(yi)忽(hu)略不(bu)計(ji)。因此我(wo)們(men)可以(yi)在(zai)X射(she)線視場(chang)可接(jie)受的(de)情(qing)況下,盡可能(neng)減(jian)小(xiao)被(bei)檢(jian)樣(yang)品到焦點的距離(li)。